[00286820]一种ZrVN纳米复合膜及其制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
化工生产
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201210469790.9
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
江苏科技大学
进入空间
所在地：江苏镇江市
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- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种ZrVN纳米复合膜及其制备方法，采用双靶射频反应溅射法以不锈钢为基底层制备得到，ZrVN纳米复合膜厚度为1～3微米，V≤25.8at.％时，ZrVN纳米复合膜的硬度≥29GPa，当V≥37.4at.％时，ZrVN纳米复合膜的硬度≥13.8GPa。研究了复合膜中生成的不同V的氧化物在不同温度下的摩擦磨损机理，其中700℃时，薄膜的摩擦系数仅为0.40。
本发明公开了一种ZrVN纳米复合膜及其制备方法，采用双靶射频反应溅射法以不锈钢为基底层制备得到，ZrVN纳米复合膜厚度为1～3微米，V≤25.8at.％时，ZrVN纳米复合膜的硬度≥29GPa，当V≥37.4at.％时，ZrVN纳米复合膜的硬度≥13.8GPa。研究了复合膜中生成的不同V的氧化物在不同温度下的摩擦磨损机理，其中700℃时，薄膜的摩擦系数仅为0.40。
