[00277196]一种片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法
交易价格：
面议
所属行业：
自动化元件
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201610116421.X
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
南京大学
进入空间
所在地：江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明实施例公开了一种片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法，其中，该微盘腔包括：自上而下层叠的微盘和支撑结构；所述微盘的尺寸大于所述支撑结构的尺寸。本发明实施例提供的片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法能够提高片上集成硫化砷微盘腔的品质因子。
本发明实施例公开了一种片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法，其中，该微盘腔包括：自上而下层叠的微盘和支撑结构；所述微盘的尺寸大于所述支撑结构的尺寸。本发明实施例提供的片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法能够提高片上集成硫化砷微盘腔的品质因子。
