[00274764]表面等离激元增强InGaN/GaN偏振出光LED及其制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
其他电气自动化
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201610627269.1
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
南京大学
进入空间
所在地:江苏南京市
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- 产权明晰
-
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对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种表面等离激元增强InGaN/GaN偏振出光LED,其结构从下至上依次为:基底层、n型GaN层、InxGa1‑xN/GaN多量子阱有源层、p型GaN层,其特征在于:所述p型GaN层被刻蚀成光栅结构,成为p型GaN光栅层,p型GaN光栅层上设有纳米双层金属光栅层。并公开了其制备方法。本发明通过在LED上布置复合光栅,包括p型GaN光栅和双层金属光栅,在p型GaN光栅和双层金属光栅之间会产生表面等离激元共振作用,直接加快复合过程,提高LED的内量子效率,从而从发光有源层直接发射强烈的偏振光。与传统的亚波长金属光栅只能实现偏振相比,本发明可以同时实现LED的发光效率增强和偏振出光,并且可以独立于材料生长过程。
本发明公开了一种表面等离激元增强InGaN/GaN偏振出光LED,其结构从下至上依次为:基底层、n型GaN层、InxGa1‑xN/GaN多量子阱有源层、p型GaN层,其特征在于:所述p型GaN层被刻蚀成光栅结构,成为p型GaN光栅层,p型GaN光栅层上设有纳米双层金属光栅层。并公开了其制备方法。本发明通过在LED上布置复合光栅,包括p型GaN光栅和双层金属光栅,在p型GaN光栅和双层金属光栅之间会产生表面等离激元共振作用,直接加快复合过程,提高LED的内量子效率,从而从发光有源层直接发射强烈的偏振光。与传统的亚波长金属光栅只能实现偏振相比,本发明可以同时实现LED的发光效率增强和偏振出光,并且可以独立于材料生长过程。