[00273315]基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统及其制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
检测仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201510084666.4
交易方式：
技术转让
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技术入股
联系人：
南京邮电大学
进入空间
所在地：江苏南京市
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对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统及其制备方法，该方法用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，MEMS悬臂梁与传输线之间会产生静电力，使悬臂梁下拉，那么悬臂梁与测试电极之间的间距变小，从而其电容值发生改变，通过测量变化的电容值，得到与之一一对应的微波功率。本发明的基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统包括砷化镓衬底，在衬底上设有面波导中心信号线(A)、并联的MEMS悬臂梁结构(B)以及电容式微波功率传感器(C)。当微波信号在面波导中心信号线上传输时，两个并联的MEMS悬臂梁在静电力的作用下产生位移，待测功率由电容式微波功率传感器检测。
本发明公开了基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统及其制备方法，该方法用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，MEMS悬臂梁与传输线之间会产生静电力，使悬臂梁下拉，那么悬臂梁与测试电极之间的间距变小，从而其电容值发生改变，通过测量变化的电容值，得到与之一一对应的微波功率。本发明的基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统包括砷化镓衬底，在衬底上设有面波导中心信号线(A)、并联的MEMS悬臂梁结构(B)以及电容式微波功率传感器(C)。当微波信号在面波导中心信号线上传输时，两个并联的MEMS悬臂梁在静电力的作用下产生位移，待测功率由电容式微波功率传感器检测。
