【主要研究内容】本项目以激光自混合干涉理论为基础,研发光纤多波长激光自混合干涉测量仪,具有对物体的位移、绝对距离、大台阶高度、直线度、平行度、角度、振动、转轴跳动等参量进行高精度测量的性能。
【创新点】1、提出无模竞争的光纤多波长激光技术,可以输出频率和功率都稳定的多波长激光。而且,各个频率的间隔可以根据需要确定。2、光纤多波长激光外差自混合干涉测量技术,可对位移、绝对距离、大台阶高度、直线度、平行度等参量进行高精度测量。3、可对低反射率表面的物体进行测量。测量时不需要像Renishaw公司的干涉仪那样在被测物体上安装合作靶镜(角锥棱镜),真正实现非接触测量。还可以对小、轻、软、薄等不能安装合作靶镜的物体进行测量。4、全光纤结构,仪器紧凑、轻巧、便携;测量头与主机以光纤连接,测量头小巧、安装方便,这使得此测量仪环境适应性强。