[00259699]一种基于电热效应的直线驱动MEMS引信安保装置
交易价格：
面议
所属行业：
军用安防
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201610069338.1
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
西安交通大学
进入空间
所在地：陕西西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种基于电热效应的直线驱动MEMS引信安保装置，包括单晶硅衬底，在单晶硅衬底依次制作二氧化硅绝缘层以及单晶硅结构层，单晶硅衬底制作有矩形加速膛孔，在单晶硅结构层中制作两个锁死电热执行器、四个推动电热执行器以及一个隔断机构，其中隔断机构中的隔板将加速膛孔遮挡，在对两个锁死电热执行器施加电压解锁的状态下，先后分别对四个推动电热执行器施加电压，在相应的工作电压下杠杆放大机构将电热执行器产生的热变形放大并以此推动隔断机构中的驱动块完成相应的位移动作，经过先后四次的位移累加，最终使隔板与加速膛孔完全错开，完成引信的解除保险动作，本发明具有低成本、高智能、易集成的特点。
一种基于电热效应的直线驱动MEMS引信安保装置，包括单晶硅衬底，在单晶硅衬底依次制作二氧化硅绝缘层以及单晶硅结构层，单晶硅衬底制作有矩形加速膛孔，在单晶硅结构层中制作两个锁死电热执行器、四个推动电热执行器以及一个隔断机构，其中隔断机构中的隔板将加速膛孔遮挡，在对两个锁死电热执行器施加电压解锁的状态下，先后分别对四个推动电热执行器施加电压，在相应的工作电压下杠杆放大机构将电热执行器产生的热变形放大并以此推动隔断机构中的驱动块完成相应的位移动作，经过先后四次的位移累加，最终使隔板与加速膛孔完全错开，完成引信的解除保险动作，本发明具有低成本、高智能、易集成的特点。
