技术详细介绍
该项目是采用纳米级别的加工制造技术制作具备纳米级尺度并且带有一定功能的纳米结构光电器件。
纳米光电子器件的工作效率更快，能耗更低，具备强大的信息储存量，且体积和重量明显的变小。随着光电器件在通信、照明、传感器等领域上的运用，纳米光电器件的制备技术已经受到越来越重要的关注。 该项目实现了一种低成本、大面积、易操作、高效的纳米结构制备工艺方法，可实现在各种材料表面纳米结构（50-500nm直径纳米孔、纳米柱、纳米圆台等）的制备，可广泛应用于种光电器件。 该项目可以较大地提高器件的性能，市场前景广阔。该纳米光电子器件项目可以在LED芯片、激光器芯片、传感器等领域得到应用。如果得到大规模应用，年增间接经济效益达10亿元以上。