[00249461]一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他仪器仪表
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201510289680.8
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
科小易
进入空间
所在地：福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯型角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和微动平台，所述微动阶梯型角反射镜设置在所述微动平台上，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，实现抗干扰的目的。
本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯型角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和微动平台，所述微动阶梯型角反射镜设置在所述微动平台上，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，实现抗干扰的目的。
