[00247339]一种在铝板上生成氮化铝薄膜的方法
交易价格：
面议
所属行业：
基础化学
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201510014490.5
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
科小易
进入空间
所在地：福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本[发明专利]公开一种在铝板上生成氮化铝薄膜的方法，其特征在于，在氮气环境下利用电火花产生的高温使铝板表面的铝与氮气反应，进而在铝板表面生成氮化铝薄膜层。具体包括以下步骤：1)清洗，首先将铝板置于装有丙酮的超声波清洗机中清洗去除铝板表面油污，然后将铝板置于碱液中浸泡去除铝板表面的氧化层；2)氮化铝薄膜层制备，在氮气环境下，将脉冲电源的一极与铝板连接，将脉冲电源的另一极与工具电极连接，利用工具电极与铝板间放电产生的瞬时高温将铝板表面的铝氮化成氮化铝。与现有技术相比，本[发明专利]具有制备工艺简单，加工效率高，生产成本低，氮化铝薄膜层不易剥落的特点。
本[发明专利]公开一种在铝板上生成氮化铝薄膜的方法，其特征在于，在氮气环境下利用电火花产生的高温使铝板表面的铝与氮气反应，进而在铝板表面生成氮化铝薄膜层。具体包括以下步骤：1)清洗，首先将铝板置于装有丙酮的超声波清洗机中清洗去除铝板表面油污，然后将铝板置于碱液中浸泡去除铝板表面的氧化层；2)氮化铝薄膜层制备，在氮气环境下，将脉冲电源的一极与铝板连接，将脉冲电源的另一极与工具电极连接，利用工具电极与铝板间放电产生的瞬时高温将铝板表面的铝氮化成氮化铝。与现有技术相比，本[发明专利]具有制备工艺简单，加工效率高，生产成本低，氮化铝薄膜层不易剥落的特点。
