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[00231040]一种掺铝氧化锌透明导电薄膜及其制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 化工生产

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201210506069.2

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 中国科学院深圳先进技术研究院

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所在地:广东深圳市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明涉及一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的方法,采用低沸点溶剂和稳定剂与易水解原料配制旋涂液,旋涂于亲水基片上,经老化、热处理和气氛退火步骤,得到AZO透明导电薄膜。本发明的方法原料易得、操作简便、成本低、环境友好,且适用于柔性衬底。本发明还涉及由此制得的AZO透明导电薄膜,其致密性佳、电阻率较小、掺杂率和膜厚度可调,性能优异,在光电领域具有良好应用的前景。
本发明涉及一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的方法,采用低沸点溶剂和稳定剂与易水解原料配制旋涂液,旋涂于亲水基片上,经老化、热处理和气氛退火步骤,得到AZO透明导电薄膜。本发明的方法原料易得、操作简便、成本低、环境友好,且适用于柔性衬底。本发明还涉及由此制得的AZO透明导电薄膜,其致密性佳、电阻率较小、掺杂率和膜厚度可调,性能优异,在光电领域具有良好应用的前景。

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