技术详细介绍
本发明涉及一种空间三维高精度机械式微力传感器。本发明将三个集成硅基应变片分别安装在三个力柔性传递支路上的集成硅基应变片安装槽中，三个力柔性支路通过卡槽11分别固定在基体上，测力接触动平台安装在三个力柔性传递支路上的测力接触动平台安装槽上，将多维力融合传感器嵌入到基体内，通过面盖和螺钉将其固定在基体的一侧。待测力作用在测力接触动平台上，通过三个力柔性传递支路将弹性变形传递到集成硅基应变片上，并将其转换成电压信号传递至多维力融合处理器中，经融合算法输出待测力的大小和方向，实现空间三维高精度机械式微力传感与检测。
一种空间三维高精度机械式微力传感器，其特征在于：包括三个力柔性传递支路（2），三个集成硅基应变片（3）分别安装在三个力柔性传递支路（2）上集成硅基应变片安装槽（12）中，三个力柔性传递支路（2）分别通过卡槽（11）固定在基体（1）上，测力接触动平台（4）安装在三个力柔性传递支路上的测力接触动平台安装槽（13）上，力柔性传递支路（2）通过集成的柔性铰链将弹性变形量传递到集成硅基应变片（3）上，集成硅基应变片（3）将弹性变形量转换成电压信号，输出到多维力融合处理器（5）中，通过融合算法计算出待测力的大小和方向。