技术详细介绍
本实用新型涉及一种石墨部件净化装置，该装置包括设有底座且呈圆筒状的外壳、置于所述外壳一侧的密封门、置于所述外壳内的空腔和置于所述空腔内的放置石墨部件的支架；所述外壳上均布有与电源相连的三个带有冷却水夹套的电极，其上部设有尾气管口，其底部设有进气管口；所述外壳与所述空腔相接处设有隔热石墨网；所述空腔与所述支架之间设有三个石墨电极，该三个石墨电极与所述三个带有冷却水夹套的电极一一对应相接；所述尾气管口与真空泵相连；所述进气管口与氯气罐相连。本实用新型可以有效地将石墨部件内的杂质除掉，从而保证多晶硅的纯度。