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[01924074]原子力显微镜（AFM）探针

交易价格： 面议

所属行业： 光学仪器

类型： 非专利

技术成熟度： 正在研发

交易方式： 技术转让

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联系人：刘雷

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所在地：江苏苏州市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

成果（项目）简介

原子力显微镜（AFM）是一高技术高附加值的易耗品，但是目前国内用户所使用的AFM探针还主要依赖国外进口，通过原子力探针进行的纳米测量，操纵和制造等重大研发项目也完全依赖于国外探针技术的研发。团队2012年起自主开发原子力显微镜探针的批量制备技术，用于研制替代进口的原子力显微镜探针。利用硅基底的各向异性腐蚀特性，通过优化氧化硅掩模的形状和取向，实现硅纳米针尖的自锐化，获得了商用标准较大高宽比的AFM针尖。该方法简单可靠，主要工艺与传统MEMS工艺完全兼容，易于规模化生产，具备较好的商业前景。

成果（项目）创新性/主要优势/知识产权布局技术指标：针尖曲率半径小于等于10nm、工艺产率（6英寸）大于等于90%，悬臂梁（厚度误差±0.5μm）产率大于等于95%，经测试，其性能指标完全达到商用探针标准。

成果（项目）所获各级项目支持：江苏省科技支撑计划、中科院纳米所所长基金。

成果（项目）或团队成员所获荣誉：镇江高新区杯创新创业大赛总决赛2等奖。

产业内关注合作计划：目前已经与苏州飞时曼精密仪器有限公司、天津绿桥科技有限公司等开展业务合作，提供多种型号AFM探针。

团队优势：研发团队集合了微机电、微电子、应用光学及物理等领域资深研发人员，成员均具有硕士研究生及以上学历，具备丰富的项目研发和流片经验，结合中科院苏州纳米所加工平台和测试平台优良的流片和测试条件，为AFM探针的成功研发和生产奠定了坚实基础。