技术详细介绍
本发明公开了一种具有红外光调制特性的亚波长非对称光栅结构及制作方法，涉及先进光学功能超材料设计及微纳加工技术领域。
该亚波长非对称光栅结构包括基底、金属薄膜层、介质隔绝层、金属黏附层和金属光栅，金属光栅具有非对称双光栅单元，包括具有第一脊部的第一光栅单元以及具有第二脊部的第二光栅单元。
金属光栅的结构参数包括第一脊部和第二脊部的宽度、第一脊部与相邻两侧的第二脊部之间的第一间隙和第二间隙，通过调整结构参数使该结构在TM偏振激发条件下实现在0~50°的入射光角度范围内的红外光窄带近完美吸收。
解决红外光调制超表面结构工艺成本高，制备流程复杂，操作门槛高且加工结果存在一定的不确定性且性能单一问题。