[01785029]3L-220L/S离子泵
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技术详细介绍
该离子泵是目前应用最广泛的清洁真空泵之一。具有工作压强宽广、极限压强低、对惰性气体抽速大、无噪声、无振动、寿命长、操作方便等优点。广泛应用于高能离子加速器、受控热核反应装置、电真空器件、半导体材料的制备、原子钟、各种表面分析仪器及工业产品中。其主要技术指标：极限压强≤５×１０的负９次方Ｐａ，抽速为２２０ｌ／ｓ，离子流＜２μＡ，１０的负８～９次方托抽速不低于额定抽速的２／３。至今已有２０多台分别用于北京正负电子对撞机和兰州重离子加速器上，获得用户好评。