技术详细介绍
本实用新型公开了一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置，主要由离子聚焦透镜，skimmer电极和离子传导透镜组成。离子聚焦透镜对电离区的离子进行收集并聚焦通过skimmer电极。在传导透镜的作用下，经过skimmer的离子被调节后传输到真空室。skimmer电极的小孔不仅对进入电离区的离子进行了筛选，同时使电离区筒上端和下端的气压相差1~3个数量级，提高了仪器的灵敏度。
本实用新型公开了一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置，主要由离子聚焦透镜，skimmer电极和离子传导透镜组成。离子聚焦透镜对电离区的离子进行收集并聚焦通过skimmer电极。在传导透镜的作用下，经过skimmer的离子被调节后传输到真空室。skimmer电极的小孔不仅对进入电离区的离子进行了筛选，同时使电离区筒上端和下端的气压相差1~3个数量级，提高了仪器的灵敏度。