[01543304]微纳结构铌酸锂波导高速电光调制器

铌酸锂电光调制器具有较高的电光系数、较低的偏置电压,且技术成熟,目前商用LiNbO3调制器在光纤通信系统中已能大于40Gb/s的传输速率。目前商业用的铌酸锂电光调制器的调制长度长、体积大、不易实现高密度、低成本集成的缺点限制了其在短距离光互连通信中的应用。基于以上面临的限制,寻找更为新颖的设计方法和突破微纳加工技术限制,开发基于铌酸锂微纳结构的高速电光调制器具有较大科学研究指导意义和潜在的商业运用以及产业价值。并且在此项目成功将对非线性功能微型化光子器件的制备和产业化提供较大的指导和参考价值：在高速光通信光电子器件、电场信号（极弱）探测器、非线性光子调控器件、电光调制的高速光束偏转器和生物光子检测（脑电波检测）等研究和开发具有较为广泛的前景。 项目在铌酸锂波导的基础上,通过引入微纳结构设计,在波导内形成有效电光效应的增强,基于此可制备出低电压驱动的电光调制器。技术在前期设计和加工的基础上改进了设计、进行了器件的制备和测试,具有较好的创新性和技术的先进性。目前器件在原理上已经完成功能测试,需要在封装技术上继续完善结果,提升器件的技术成熟度。 项目已经在国际高水平学术期刊发表了9 篇论文和参与国际高水平学术会议2次;已经申请国家发明专利2 项;通过项目实现了培养研究生3-4 人;与国际知名研究机构进行技术交流2次。