技术详细介绍
一、项目特点
耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。
ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。
F2准分子激光157nm的透过率大于80%。
ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。
二、技术成熟度
掌握了控制性能的关键技术。
除了纯度以外，OH、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。
三、应用范围
深紫外光刻、光制导等
四、投产条件和预期经济效益
根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。
五、合作方式
各种研发合作方式。欢迎洽谈。
一、项目特点
耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。
ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。
F2准分子激光157nm的透过率大于80%。
ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。
二、技术成熟度
掌握了控制性能的关键技术。
除了纯度以外，OH、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。
三、应用范围
深紫外光刻、光制导等
四、投产条件和预期经济效益
根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。
五、合作方式
各种研发合作方式。欢迎洽谈。