[01493711]等离子薄膜技术在工模具中的应用
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技术详细介绍
用直流磁控/射频溅射镀、多弧离子镀、离子束辅助增强沉积、高能离子注入等方法设计并合成具有特殊界面微结构的人工超晶格纳米多层超硬薄膜和纳米颗粒超硬薄膜。利用0.11nm/sec的薄膜沉积速率，镀制出单层厚度为2-20nm总层数为140层的纳米多层膜和晶粒尺寸为5-30nm的颗粒膜，还制备出总厚度为5μm、刻划力大于60N、硬度大于60GPa、耐高温700℃的多种硬质薄膜涂层，广泛用于各种工况条件下的模具和工具。研究开发的金属-陶瓷复合薄膜已在手表壳上获得应用，获得良好的经济效益。