[01443356]脉冲直流PCVD法工模具表面强化技术和设备

工艺开发与设备研制：开发出脉冲直流PCVD法TiSiN系耐热超硬薄膜、尤其是高Si含量的TiSiN系薄膜的工艺技术；较系统地研究了TiSiN系薄膜的微观结构、成分和性能优化规律；该技术为国内外首创。开发出脉冲直流PCVD法复合渗镀表面强化工业生产工艺技术，较系统地研究了一系列典型工模具材料的渗层形成规律、组织性能、渗层与镀膜工艺的匹配、复合渗镀层体系性能的优化规律和优化工艺；该技术为国内外首创。开发出脉冲直流PCVD复合渗镀法刀具和模具表面强化的工业生产应用技术。取得了显著效果，特别是该技术应用于热锻、冷冲压等模具，获得提高寿命一倍以上的良好效果。该技术为国内领先，达到了国际先进水平。研制出工业生产型脉冲直流PCVD法工模具表面强化设备样机，并已投入使用。该设备在装载系统设计，蒸发和气流控制系统设计，气流分布设计（含获得气流均匀性的工艺技术），内热式加热系统设计方面均有创新，该设备达到了国内领先水平。其中内热式加热系统等设计达到国际先进水平。脉冲直流PCVD法工模具表在强化技术和设备作为一种先进的新技术在汽车、机械、航空、航天等工业领域有广泛的应用前景。