技术详细介绍
用于有机废气处理的物理化学协同净化设备及方法成果简介：
本项目主要研究了利用功率为200-2kw的微波发生器,将微波通过波导管传输到驻波反应器，调节位相使其达到驻波共振的良好匹配。共振反应器腔中心设置石英管，管内产生等离子体，石英管内壁涂有光催化剂涂层或在反应器下部填充成型的催化剂。被处理的有害气体以旋转气流模式注入反应器，被大气压下微波等离子体反应分解形成无害物质。光催化剂和填充的催化剂有效地利用等离子体的发光和余热，提高了脱除率和消除了有害气体副产物。
项目具有常压下处理设备简单，脱除率高，节省能源，无二次污染的特点。添加催化剂使能量效率提高63.1%。
本项目的常压微波等离子体发生装置已应用于全氟化碳（PFCs）、VOCs等有机废气的分解。
适用范围
本发明对废气处理具有广泛的应用价值。本发明开发的大气压下微波等离子体与催化剂协同处理装置，可应用到工业处理，在节约能量、处理量、脱除率、处理方法和能量效率方面处于国际先进水平。
用于有机废气处理的物理化学协同净化设备及方法效益分析
本发明所涉及的装置和技术应用范围广，除可开发用于各种难降解的有害气体装置外，还可用于催化化学合成或分解反应装置，材料表面改性和CVD装置等，市场前景良好。
已转化推广情况：已进行推广应用
获奖：2011年大连市技术发明一等奖。
2009第十八届全国发明展览会金奖