技术详细介绍
本申请公开了一种GaN腐蚀液，包括离子液体以及、强酸或强碱，其中离子液体的重量占比为51%~90%，强酸或强碱的重量占比为10%~49%。本发明还公开了GaN腐蚀液制备方法以及GaN腐蚀液对GaN的腐蚀方法。本发明的优越性在于：腐蚀速率加快，腐蚀环境温和，克服了传统的强酸强碱环境对容器造成的影响，同时由于离子液体的可回收性，该腐蚀液可以循环利用。
本申请公开了一种GaN腐蚀液，包括离子液体以及、强酸或强碱，其中离子液体的重量占比为51%~90%，强酸或强碱的重量占比为10%~49%。本发明还公开了GaN腐蚀液制备方法以及GaN腐蚀液对GaN的腐蚀方法。本发明的优越性在于：腐蚀速率加快，腐蚀环境温和，克服了传统的强酸强碱环境对容器造成的影响，同时由于离子液体的可回收性，该腐蚀液可以循环利用。