技术详细介绍
本发明涉及半导体制作技术，提供一种换热器，用于尾气处理，其包括尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成；填充有吸热流体的吸热通道，所述吸热通道包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述吸热流体与尾气进行热交换。本发明还提供采用这种换热器组装的尾气回收系统。本发明不仅解决了MOCVD尾气对环境的污染问题，节省原材料消耗，降低成本，还能实现尾气零排放，促进半导体照明产品早日替代传统照明产品，实现绿色环保的目标。
本发明涉及半导体制作技术，提供一种换热器，用于尾气处理，其包括尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成；填充有吸热流体的吸热通道，所述吸热通道包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述吸热流体与尾气进行热交换。本发明还提供采用这种换热器组装的尾气回收系统。本发明不仅解决了MOCVD尾气对环境的污染问题，节省原材料消耗，降低成本，还能实现尾气零排放，促进半导体照明产品早日替代传统照明产品，实现绿色环保的目标。