技术详细介绍
本实用新型公开了一种直写电子/光电子元器件的微细笔。其结构为:减压装置位于笔帽内,并与位于笔帽顶部的施压气管相连,笔帽的下端与笔筒的上端活动、密封连接构成储料腔,储料腔用于储存需要沉积的物料,笔筒的下端为笔尖。该微细笔通过二个并联的压力控制装置与气源连接,并采用控制器控制两条气路的通断和微细笔相对基板的运动,构成直写装置。微细笔可用于制作电子元器件,还可用于制作光电子元器件,如聚合物光波导。结合该微细笔的结构特点和聚合物材料的特性,可将聚合物材料置于微细笔内,在基板上直写出光波导。本实用新型装置布线速度快,线宽范围大,制造和运行成本低,布线速度范围为2MM/S～15MM/S,线宽范围为0.06MM～2MM。