[01398241]一种太赫兹波探测器及其制备方法
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本发明公开了一种太赫兹波探测器及其制备方法,用于太赫兹波段辐射探测,该太赫兹波探测器包括：顶层复合敏感薄膜层,以及位于顶层复合敏感薄膜层下的超材料金属空心十字吸收层,空心十字图形为中心对称图形,超材料金属空心十字吸收层在特定的太赫兹波段产生强烈的谐振吸收,有明显的吸收峰。同时由于中心对称的十字图形特性,对入射的太赫兹波的极化与偏振方向不敏感,对入射光方向不做特殊要求,同时,改变十字图形的尺寸可以调整超材料结构谐振吸收的频率范围,实现对某特定波段的最大吸收。该太赫兹波探测器可以对特定频段实现高吸收并且易于调整吸收频段,同时检测灵敏度较高,与MEMS工艺兼容,可进行阵列化生产,具有广阔的应用前景。