[01392328]一种低热导的太赫兹探测单元微桥结构及其制备方法
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本发明公开了一种低热导的太赫兹探测单元微桥结构,该微桥结构包括桥墩、桥腿、桥面。桥墩连接底层读出电路与桥腿,桥腿呈悬空结构并连接桥墩与探测桥面,桥面由两只桥腿支撑形成悬空结构。桥面实现外部太赫兹辐射能量到桥面温升到电学信号的转变,该电学信号通过桥腿和桥墩传递给底层读出电路,实现太赫兹辐射的探测。本发明采用的桥腿呈细长的“弓”型形状,桥腿盘曲的平面与水平的桥面间夹角在30°-70°之间,倾斜的桥腿悬空未与衬底相连。该设计一方面增加了桥腿的长度,减弱了因桥腿的机械连接而产生的热传导。另一方面,增加了桥面太赫兹辐射吸收面积,提高了单元占空比。该微桥结构提高了探测单元性能并适宜规模化生产。