[01356413]一种横向高压功率半导体器件的结终端结构2
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技术详细介绍
一种横向高压功率半导体器件的结终端结构,属于功率半导体器件技术领域。本发明针对专利文献CN102244092B提供的一种横向高压功率半导体器件的结终端结构中直线结终端结构和曲率结终端结构相连部分的电荷平衡问题,在保持器件表面横向超结掺杂条宽度为最小光刻精度W情况下,对终端结构进行分析和优化,提出表面超结结构浓度的关系表达式,根据关系式优化器件结构,从而得到最优化的击穿电压。同时,N型漂移区表面所有的横向超结结构宽度都采用最小光刻精度W,可以减小芯片的版图面积。