[00135401]复合金属硫化物类金刚石复合薄膜的制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他化学化工
类型：
发明专利
技术成熟度：
通过中试
专利所属地：中国
专利号：200910050734.x
交易方式：
技术转让
联系人：
汪元元
进入空间
所在地：上海上海市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
发明专利名称：
复合金属硫化物类金刚石复合薄膜的制备方法
发明专利简介：
一种纳米复合薄膜技术领域的复合金属硫化物类金刚石复合薄膜的制备方法，包括：基片抛光洗净烘干；中间层溅射处理；通入乙炔气体；金属硫化物复合靶溅射处理；本发明方法制备获得的复合薄膜具有优异减摩性能以及良好耐磨性能的复合薄膜，制备工艺简单，沉积过程易于控制，薄膜沉积后无需进行热处理，可直接作为机械零部件表面的减摩防护薄膜使用。
发明专利名称：
复合金属硫化物类金刚石复合薄膜的制备方法
发明专利简介：
一种纳米复合薄膜技术领域的复合金属硫化物类金刚石复合薄膜的制备方法，包括：基片抛光洗净烘干；中间层溅射处理；通入乙炔气体；金属硫化物复合靶溅射处理；本发明方法制备获得的复合薄膜具有优异减摩性能以及良好耐磨性能的复合薄膜，制备工艺简单，沉积过程易于控制，薄膜沉积后无需进行热处理，可直接作为机械零部件表面的减摩防护薄膜使用。
