[00134443]变间距电镀槽套件
交易价格:
面议
所属行业:
电子元器件
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:201220306380.8
交易方式:
技术转让
联系人:
中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
进入空间
所在地:江苏苏州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本实用新型涉及一种变间距电镀槽套件,包括电镀槽箱体、靶材架和样品架,所述的电镀槽箱体上设置有可精确调节和量测靶材架与样品架之间距离的位置标记;该变间距电镀槽套件通过靶材架和样品架的夹持装置与电镀槽箱体位置标记固定配合,可精确调节和量测靶材架与样品架之间距离,更精确的对样品进行电镀。
本实用新型涉及一种变间距电镀槽套件,包括电镀槽箱体、靶材架和样品架,所述的电镀槽箱体上设置有可精确调节和量测靶材架与样品架之间距离的位置标记;该变间距电镀槽套件通过靶材架和样品架的夹持装置与电镀槽箱体位置标记固定配合,可精确调节和量测靶材架与样品架之间距离,更精确的对样品进行电镀。