[01335233]电沉积低温烧结制备氧化物薄膜和微叠层技术
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技术详细介绍
本技术可以获取各种单一氧化物和多元氧化物纳米薄膜，以及叠层氧化物纳米薄膜。
可用于提高金属的抗腐蚀性能以及获得多种特殊功能，如铁电性能、磁性能、电致变色、化学催化、超导、光电转换等。
本技术可以获得Mg、Ca、Sr、Ba、Y、La、Ce、Yb、Ti、Zr、Hf、Ta、Cr、W、Mo、Mn、Fe、Co、Ni、Ir、Pd、Cu、Zn、Cd、Al、In、Si、Sn、Pb 等元素的单一氧化物或它们的多元氧化物纳米薄膜，厚度＜0.2um。
氧化物薄膜质量优于溶胶凝胶法，厚度均匀，根据需要可以控制厚度膜。
先后沉积不同的氧化物薄膜可以获得叠层氧化物纳米薄膜。
制备过程简单，重现性好是本技术的优势。