[01332077]基于高电子迁移率晶体管太赫兹波空间外部调制器
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技术详细介绍
基于高电子迁移率晶体管太赫兹波空间外部调制器，属于电磁功能器件技术领域，本发明包括半导体衬底1、外延层2、调制单元组4，外延层2设置于半导体衬底1上，在外延层2上设置有调制单元、正电压加载电极3和负电压加载电极5;
所述调制单元组包括至少3个调制单元;所述调制单元包括高电子迁移率晶体管和人工金属电磁谐振结构，各晶体管的栅极连接到负电压加载电极5，源极和漏极连接到正电压加载电极3。
本发明针对空间传播太赫兹电磁波，可工作于常温、常压、非真空条件下，无需加载波导，易于封装、方便使用。