[01330581]用于全光网络关键器件的硫系玻璃薄膜的制备与性能表征

本项目研究内容包括：玻璃组分优化设计，薄膜制备和性能表征，界面结合强度和力学性能调控，薄膜光敏机理研究。

项目目标是在获得非线性和成膜特性两者完美结合的系列玻璃组分及相应的薄膜制备技术，并在理论上完善硫系玻璃的光敏机理。

在项目研究期间里，本项目组人员紧密合作，围绕研究课题研究内容开展了相关的研究工作，重点开展了玻璃组分优化、Ge-Sb-Se薄膜制备工艺研究以及材料非线性的测试，并且与与澳大利亚国立大学激光物理中心合作，利用光刻+ICP干刻技术，刻蚀获得了脊宽为1-4微米的Ge20Sb15Se65硫系光波导，实现了材料优化设计到器件制备的技术工艺路线。

在从事研究的同时，项目组积极整理成果，并注重知识产权的保护，以学术论文的形式予以公开发表或者申请相关国家发明专利，迄今为止，项目组在国际国内学术期刊上发表论文14篇，其中SCI收录论文11篇，EI收录论3篇。项目组在在应用非线性硫系薄膜的组分设计和制备工艺上授权发明专利2项。

培养了4名研究生，其中1名博士研究生，3名硕士研究生。

项目组认为本项目已经全面完成了规定的研究任务，获得的研究成果也超过了预期目标，未来拟在本项目的研究基础上，继续申请各级各类科研项目，获得相应的后续经费，将相关研究工作推向深入。