[01320971]喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜扫描装置
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技术详细介绍
喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜的喷嘴属于半导体电子材料镀膜领域。
为具有一定规律分布的小圆孔的一维结构喷嘴，或为具有一定规律排列的阵列两维结构的两维喷嘴，或者是一维单狭缝喷嘴和多组长条型狭缝喷嘴平行排列的二维喷嘴。
喷嘴的喷孔有两种结构，一是小圆孔喷孔，二是狭缝喷孔，一维喷嘴上的小圆孔喷孔，为单行均匀分布排列，两维结构喷嘴的小圆孔分布在50×50mm^2～150×150mm^2两维范围内，一维单狭缝喷嘴和多组长条型狭缝喷嘴平行排列，它们分布在50×50mm^2～150×150mm^2两维范围内。