[01293227]槽栅型源-漏复合场板异质结场效应晶体管及其制作方法
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
本发明公开了一种槽栅型源-漏复合场板异质结场效应晶体管及其制作方法，该器件自下而上包括衬底（1）、过渡层（2）、势垒层（3）、源极（4）、漏极（5）、槽栅（7）、钝化层（8）、源场板（9）、漏场板（11）和保护层（12）。
该漏场板与漏极电气连接，该源场板与源极电气连接，其中，势垒层（3）上开有凹槽（6）；源场板与漏场板之间的钝化层上淀积有n个浮空场板（10）。
每个浮空场板大小相同，处于浮空状态，且按照等间距的方式分布于源场板与漏场板之间。n个浮空场板与源场板和漏场板在钝化层上通过一次工艺完成。
本发明具有成品率高、可靠性好和输出功率高的优点，可制作基于宽禁带化合物半导体材料异质结的功率器件。