[01229490]电容式微机械陀螺
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技术详细介绍
硅微机械陀螺是用微机电系统（MEMS）技术在硅片上批量制作的角速率传感器,是车辆、航行器运动状态测量的核心元器件。然而能满足战术导弹、空天飞行器等应用要求的高精度产品却一直受到国外的技术封锁和产品禁运。为解决武器装备核心器件受制于人的问题,必须要自主研制高精度硅微机械陀螺。 本项目发明了硅微机械陀螺的全滑膜阻尼敏感表头结构、基于机械滤波的ΣΔ高阶噪声抑制电路、系统级陀螺误差补偿校准方法,大幅提高了传感器的信噪比,掌握了高精度硅微机械陀螺的设计方法,研制出零偏稳定性为1.8deg/hr的硅微机械陀螺样机,达到国际先进水平。同时突破了硅微机械陀螺的标准化制造、高真空批量化封装测试、低功耗接口电路的ASIC（专用集成电路芯片）设计等核心工程化技术,在多项重大工程中应用。 本项目取得了重要的社会和经济效益,并在物联网、汽车电子、民用无人机、精密仪器领域展现出广阔的应用前景。