[01222241]一种压电晶体气体传感器及其制备方法
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本发明公开了一种压电晶体气体传感器,基体为石英晶片1,其特征在于,还包括设置在所述石英晶片1上的上金属电极2和下金属电极3,所述上金属电极2周围涂敷有电子聚合物层,所述上金属电极2的直径小于下金属电极3的直径,所述金属电极可以是金电极、铂电极或铝电极,所述电子聚合物是电导率高的聚合物,可以是聚苯胺、聚吡咯、聚噻吩等材料。这种特殊化学微传感器最突出的特点是使用石英晶体微天平的电学参数来探测与晶体表面相接触气氛的浓度,而且其精确度高、灵敏度高、选择性好、响应时间短;并且制备方法简单合理,易于大规模工业化生产。