[01200762]一种非制冷红外探测焦平面器件
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技术详细介绍
一种非制冷红外探测焦平面器件,属于非制冷红外探测技术领域。器件包括衬底结构、支撑结构和桥面结构;桥面结构通过桥腿和桥墩支撑于衬底上,红外吸收层薄膜与反射层之间形成红外谐振腔;热敏感薄膜位于红外谐振腔之外的红外吸收层薄膜的表面。本发明突破现有器件结构的惯有思维,将桥面结构中的红外吸收层薄膜和热敏感层薄膜的位置关系倒置从而将热敏感层薄膜置于红外谐振腔之外的红外吸收层薄膜表面,增强了红外探测焦平面器件的红外吸收率,从而使得非制冷焦平面器件的探测效率得到进一步提升;同时,该器件无需增透膜,从而在一定程度上简化了器件结构并适当降低了器件成本。