[01158923]一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器
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技术详细介绍
本发明公开了一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器,包括原基板（3）,与原基板（3）连接的固定轴（4）,依次轴向设置在固定轴（4）上的支撑板（5）和用于连接真空腔的固定法兰（2）,支撑板（5）和固定法兰（2）上贯穿有平行于固定轴（4）的传动轴（6）,传动轴（6）的外端部设置有转动手柄（7）;其特征在于,在原基板（3）上设置有一扩大基板（8）,垂直于扩大基板（8）贯穿有一从动轴（9）,从动轴（9）和传动轴（6）分别设置有相互啮合的齿轮（11）,从动轴（9）和传动轴（6）的内端部分别固定有上、下挡板（12、13）;所述从动轴（9）贯穿扩大基板（8）的位置,靠近扩大基板（8）外周。