[01157247]压电薄膜基声表面波瓦斯传感器的关键薄膜制备技术

项目：“压电薄膜基声表面波煤矿瓦斯传感器的关键薄膜制备技术”由教育部博士后科学基金面上资助。 声表面波瓦斯传感器具有体积小、灵敏度高和工作稳定等优点,能有效解决燃烧式瓦斯传感器的零点漂移、线性响应不稳定、定期维护难和维护费用高等问题,同时能克服光学瓦斯传感器传感分析复杂的缺点。本项目拟研究并制备的压电薄膜基声表面波煤矿瓦斯传感器,除具有高灵敏度和良好稳定性外,尤其是其硅基压电薄膜技术将使煤矿瓦斯传感器集成化成为可能,从而满足煤矿安全监测系统集成化的必然趋势,有望在未来煤矿安全监测中发挥重要作用。 在矿业安全技术领域,尚未见利用声表面波传感瓦斯的相关研究报道,尤其未见在硅基底上利用压电薄膜激发声表面波传感瓦斯的研究,压电薄膜基声表面波瓦斯传感器的成功制备,符合煤矿安全监测集成化发展的必然趋势,将填补声波传感瓦斯研究领域空白,从而有望广泛应用于煤矿瓦斯监测与检测,以提高煤矿瓦斯监测能力,完善煤矿安全监测手段,降低矿业灾难发生率,有效避免人员伤亡和矿业资源损失。