[01152623]一种新型MEMS射流转子陀螺
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技术详细介绍
本发明公开了一种新型MEMS射流转子陀螺,属于惯性测量领域。本发明采用围绕检测腔环形一周的合成射流器交替喷出气体,使检测腔内产生气流转子。气流转子具有传统转子所具有的定轴性和进动性,当外界有角速度或加速度输入时,气流转子会敏感角速度和加速度而发生运动,热敏电阻通过检测气流转子的运动来测量外界输入的角速度和加速度。而且该MEMS射流转子陀螺可与微加工工艺兼容,并且可将检测腔和侧喷式合成射流器的振动腔体一次性加工出,无需复杂的微装配工艺,简化工艺流程,而且也保证了器件的精度。继承了MEMS转子陀螺和MEMS射流陀螺的优点,而摒弃了MEMS振动式陀螺,MEMS转子陀螺和MEMS射流陀螺的缺点,具有很大的研究应用价值和广阔的发展前景。