[01132940]基于悬浮超结的氮化镓基异质结电流孔径器件及其制作方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种基于悬浮超结的氮化镓基异质结电流孔径器件,主要解决现有技术无法实现良好的双向阻断的问题。其自下而上包括：肖特基漏极（13）、衬底（1）、漂移层（4）、孔径层（5）、左右两个对称的电流阻挡层（6）、沟道层（8）、势垒层（9）和栅极（12）,两个电流阻挡层（6）之间形成孔径（7）,势垒层上的两侧淀积有两个源极（11）,两个源极下方通过离子注入形成两个注入区（10）;其中：衬底上方与漂移层下方之间设有两个对称的P柱（2）和一个N柱（3）,两个P柱位于N柱的左右两侧。本发明具有良好的双向阻断能力,正向击穿电压和反向击穿电压高,可用于电力电子系统。