[01123858]一种电极引线及微桥结构中的电极引线的制备方法5
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本发明公开了一种电极引线及微桥结构中的电极引线的制备方法,属于电极引线及微桥结构中的电极引线技术领域,该制备方法有效的增强了电连接的稳定性和均匀性,简化了电极引线的制备工艺。本发明中电极引线的制备方法为：先制备下层钛薄膜,采用氧等离子体轰击下层钛薄膜,使下层钛薄膜表面形成致密氧化层;在形成致密氧化层的下层钛薄膜上制备上层钛薄膜;图形化上层钛薄膜,形成桥柱图案;去除下层钛薄膜上的致密氧化层后图形化下层钛薄膜,形成互连引线图案;桥柱图案与互连引线图案组成电极引线。本发明用于红外与太赫兹探测与成像技术。