[01123676]基于弧形源场板的垂直结构电力电子器件
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技术详细介绍
本发明公开了一种基于弧形源场板的垂直结构电力电子器件,其包括：衬底（1）、漂移层（2）、孔径层（3）、左、右两个对称的电流阻挡层（4）、沟道层（6）、势垒层（7）和钝化层（12）,沟道层（6）和势垒层（7）的两侧刻蚀有源槽（8）,两侧源槽（8）中淀积有两个源极（9）,源极（9）之间的势垒层上面淀积有栅极（10）,衬底（1）下面淀积有漏极（11）,钝化层（12）完全包裹在除漏极（11）底部以外的所有区域,钝化层两边刻有弧形源台阶（13）,弧形源台阶处淀积有金属,形成弧形源场板（14）,该弧形场板与源极电气连接。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高,可用于电力电子系统。