[00111181]成膜装置和成膜方法
交易价格：
面议
所属行业：
微电子
类型：
专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：200680011225.0
交易方式：
技术转让
联系人：
东北大学
进入空间
所在地：辽宁沈阳市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种成膜装置及成膜方法。成膜装置具有向喷出容器内喷出有机EL分子气体的结构,具有多个有机EL原料容器、连接多个有机EL原料容器和喷出容器的配管系,多个有机EL原料容器有选择地成为有机EL分子供给状态,该配管系供给输送气体,使得在各有机EL原料容器内,在成膜时和非成膜时成为相同的压力。在非成膜时,输送气体从有机EL原料容器之一流向其它原料容器。
一种成膜装置及成膜方法。成膜装置具有向喷出容器内喷出有机EL分子气体的结构,具有多个有机EL原料容器、连接多个有机EL原料容器和喷出容器的配管系,多个有机EL原料容器有选择地成为有机EL分子供给状态,该配管系供给输送气体,使得在各有机EL原料容器内,在成膜时和非成膜时成为相同的压力。在非成膜时,输送气体从有机EL原料容器之一流向其它原料容器。
