[00110695]一种低温等离子体诊断装置
交易价格：
面议
所属行业：
微电子
类型：
专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：200710011244.X
交易方式：
技术转让
联系人：
东北大学
进入空间
所在地：辽宁沈阳市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种低温等离子体诊断装置,特别涉及等离子体诊断技术,针对现有同类技术抗干扰能力弱、实时性差而公开一种低温等离子体诊断装置;该装置由朗缪尔探针、电 源信号产生电路、信号采集电路及电源组成;朗缪尔探针与信号采集电路相连,信号采集电路和电源信号产生电路相连,电源分别与电源信号产生电路、信号采集电 路相连;本装置的优点是对等离子体的干扰小,可以进行实时测量,体积小,使用方便。
一种低温等离子体诊断装置,特别涉及等离子体诊断技术,针对现有同类技术抗干扰能力弱、实时性差而公开一种低温等离子体诊断装置;该装置由朗缪尔探针、电 源信号产生电路、信号采集电路及电源组成;朗缪尔探针与信号采集电路相连,信号采集电路和电源信号产生电路相连,电源分别与电源信号产生电路、信号采集电 路相连;本装置的优点是对等离子体的干扰小,可以进行实时测量,体积小,使用方便。
