[00110611]成膜及电子设备或有机电致发光元件的制造方法
交易价格：
面议
所属行业：
电子元器件
类型：
专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：200680032514.9
交易方式：
技术转让
联系人：
东北大学
进入空间
所在地：辽宁沈阳市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供一种不浪费昂贵的有机EL原料,并且能够长时间地均匀地形成有机EL膜的成膜装置及用于该成膜装置的冶具。单一的原料容器部具备多个吹出容器, 具备将原料容器部的有机EL原料气化后与载气一起供给到各吹出容器的配管系统切换到其他的吹出容器的配管系统的切换器。如此,通过将有机EL原料从单一的 原料容器部切换供给到多个吹出容器,可以改善有机EL原料的利用效率。
本发明提供一种不浪费昂贵的有机EL原料,并且能够长时间地均匀地形成有机EL膜的成膜装置及用于该成膜装置的冶具。单一的原料容器部具备多个吹出容器, 具备将原料容器部的有机EL原料气化后与载气一起供给到各吹出容器的配管系统切换到其他的吹出容器的配管系统的切换器。如此,通过将有机EL原料从单一的 原料容器部切换供给到多个吹出容器,可以改善有机EL原料的利用效率。
