[01023303]蒸涂膜层厚度、蒸速监控仪
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技术详细介绍
该仪器既能在蒸涂过程中动态测量膜厚、蒸速，还可通过稳流和速率反馈对蒸速进行稳定控制，适用于各种金属、非金属等各种蒸发膜，是真空镀膜设备。该仪器的主要技术指标如下。晶体探测器频率：５．０ＭＣ；本机晶体振荡频率：５．３１８ＭＣ；测厚范围：１００Ｈｚ－１００ｋＨｚ（按１．３分为七挡）；测量误差：≤±５％满度值；整机频率漂移：仪器预热一小时后，每小时漂移小于±５Ｈｚ；蒸发速率指示：０．０３Ｈｚ／Ｓｅｃ－１ｋＨｚ／Ｓｅｃ；速率控制稳定度：小于每挡满量程刻度的±５％；超程蒸发：不少于５０％等。该仪器经鉴定，具有国内先进水平。