[00100525]用于高真空测量的电容式微型真空规

一、项目特点和技术指标 　　以MEMS技术为基础的硅微机械真空传感器具有体积小、重量轻、成本低、可批量生产和单片集成等优点，满足国际上真空计的发展要求。该真空规为一种以MEMS技术为基础的电容式硅微真空传感器，它主要采用p++硅自停止腐蚀技术和硅-玻璃键合技术制作，形成了硅-玻璃-硅的三明治结构。传感器的传感元是经过浓硼扩散的硼硅膜，方形硼硅膜的应用使得传感器有更高的灵敏度，等离子刻蚀硼硅膜引出金属电极的方法使得传感器制作更简单。该真空微传感器具有结构简单、灵敏度高等优点，其尺寸为5mm×6.4mm。 　　微型电容式真空规的产业化，可以提高国内真空测量微型化的水平。由于微型电容真空规的研制需要探索极限尺寸下(超薄膜和极小的极板间隙)的MEMS工艺技术，因而由此开发的工艺技术可以很容易用来开发各种用途的微型电容式传感器。 　　二、技术成熟程度 　　处于深入研究阶段 　　三、应用范围 　　真空传感器是一种重要的传感器，用于真空度的测量，可以广泛地应用于食品、化工、医疗、建筑、汽车、电子和光学等领域。 　　四、投产条件和预期经济效益 　　微型电容真空规项目的研究成果，具有产业化的潜力。由于微型电容真空规与其它微型电容传感器的制作的加工方法和设备是一样的，因而在产业化中很容易形成规模生产。微型电容传感器的即可开发用于真空设备、航空航天装置等高精度测试所需的器件，也可用在医疗、玩具这样一些普通精度测量中，其市场潜力是巨大的。 　　五、合作方式 　　合作开发